石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的？

石墨舟裝片房和石墨舟裝載房是做什么用的？

深圳石墨模具舟晶圓裝載室：太陽能行業使用，配合PECVD載具，裝載硅片，準備中效、高效過濾器，保證吹送的空氣達到凈化要求。

深圳石墨模具舟的工作原理：

空氣經過高效過濾后，阻尼層被均勻壓緊，使潔凈的氣流垂直單向送入晶片裝載工作區，保證了工作區的清潔度達到工藝要求，操作人員在潔凈的環境下將硅片裝載到石墨舟內。

深圳石墨模具船的主要特點：

1.石墨舟裝卸車能夠準確定位；

2.采用不銹鋼制造，整機結構牢固可靠；

3.使用三個GK系列高效空氣過濾器。

4.PECVD載具可傾斜15度或內部旋轉180度；

5.凈化風機噪音小于50dB。

6.確保工作區的潔凈度達到工藝要求的100級。

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