石墨熱場的重要性
作者:http://xiaofei168.com
發布時間:2021-07-23 14:12:36
石墨原材料的選擇和加工工藝上非常關鍵 !
直拉單晶爐的熱系統,也就是所謂的熱場,是指為了熔化硅料,并使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個系統。
熱場一般包括(石墨材料)壓環、保溫蓋、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流筒、石墨螺栓,
且為了防止漏硅,爐底、金屬電極、托桿、都設置了保護板、保護套。
21世紀,越來越多的用戶開始注意到石墨材料,石墨具有耐高溫、導電、導熱性良好、潤滑性等主要特點,
抗熱震性等在新能源引領未來的時代,石墨熱場以及部件在單晶硅的制造中起著關鍵的載體作用。
在真空爐中熱場是決定單晶硅好壞的決定因素,通過對石墨熱場的了解,決定熱場石墨組件的好壞的因素有很多,
其中石墨原材料的選擇和加工工藝上非常關鍵。